FX--1惰性气体纯化器
本系列纯化器的原理是利用合金吸附剂能与O2、N2、H2 O、CO和烃类等杂质反应生成稳定化合物或固溶体的性质来把Ar、He中的上述杂质除去，从而达到纯化之目的，净化后得到的高纯气体已广泛用于半导体、电子、冶金、锂电池制造及直读光谱分析和辉光光谱仪分析等产业部门和科学研究中。
1．主要特点：
(1) 净化程度深，不仅能除去O2等较活泼的杂质，而且还可以除去N2等惰性杂质，这是一般净化机办不到的。
(2) 本纯化器为双塔结构，一塔工作，另一塔备用，故一台能顶两台单式纯化器使用。
(3) 工作温度较低，能耗少。
2．技术指标
型 号  流量（m3/h）  输出压力（MPa）  功率（KW）  外型尺寸mm
FX-1  1 0．3 1．0  440*600*1230
FX-2 2 0．3 1．5 600*600*1230
FX-4 4 0．3 2．0 600*800*1300
FX-6 6 0．3 3．0 700*900*1500
使用电源 220V
原料气  O2≤200ppm ；N2≤200ppm ；露点≤-30℃
输出纯气 O2<1ppm ；N2≤1ppm ；露点≤-70℃；尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个/升
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